软X-RAY光谱仪248/310G 型
简 述：
248/310G 型一米焦距掠入射光谱仪. 这一仪器设计合理, 工作于软X 射线谱段, 使用简单. 单色仪通过出口狭缝在罗兰圆上移动来扫描波长. 罗兰圆的直径等于光栅的曲率半径.
品 牌：
美国 Mcpherson
产品型号：
- 248/310G型
软X光和极端远紫外谱段 248/310G型掠入射单色仪
该设备配备单个光栅提供覆盖1 至 310nm 光谱范围；采用非真空紫外发射线设备的校准及调准可以在大气压下完成。符合运动学原理安装的光栅保证了在调准后的用于试验的光栅可以复位。
光栅室材质为不锈钢，配备了一个标准的4.5 英寸conflat™全金属密封的泵接口（a standard 4.5” conflat™all metal sealed pump port）。该光栅室提供了符合运动学光栅固定架、真空中可调焦距式测微计、滤光片及孔径片、入射狭缝及出射折迭暗箱固定架。
248/310G 型可以用于单通道扫描, 多通道光度计( 使用多道平面增强器或CCD), 或者倒过来使用作为Extreme UV and Soft X-ray 的多种单色光源. 不管哪种方式, 都带o-ring 密封的真空系统或全金属密封的超高真空系统.
当248/310G 用作扫描单色器时, 可以得到*佳分辨率和*宽的波长覆盖范围. 出口狭缝通过密封焊接的波纹管装置连接到光栅室, 可以在光栅中心50mm 范围内扫描. 采用88 度入射角, 扫描精度可以达到0.98nm。
使用 789A-3 型扫描系统 (36,000 steps /rev.) 步进距离为0.0004". 取决于光栅刻线密度和入射角度, 这一距离同波长直接关联. 双边可调入射狭缝 (5-3000 um) 固定在光栅室上. 罗兰圆上移动的狭缝可由精确的千分尺调节. 狭缝装置上带有安装真空计, 进气阀, 粗抽阀的接口. 波长小于30nm 时为提高性能, 应使用金属过滤薄片以滤出散射和低能光. 用于*高能量/ *短波长时, 应使用VYNS 型滤光片。
左边照片为McPherson 248/310G 使用无窗背后照明无镀膜CCD 探测器, 可以直接测量 soft x-ray 和 EUV 光谱. CCD 垂直于出射光束. CCD 中心是最好的焦点. CCD 可以在Rowland circle 上扫描使得任意波长时光束都打在探测器的中心.
左图为采集soft x-ray and extreme UV 谱段的数据, 可以在Rowland circle 上使用微通道板 (microchannel plate). 通过这种方式, 可以同时采集 40mm 宽的谱线数据. 光阴极材料和微通道板(MCP) 需要真空环境, 不能在空气中调节. 微通道板(MCP) 固定装置允许用户在真空中调节聚焦, 转动, 角度, 等等, 从而得到最优的谱线. 通常我们选用40 mm 宽的微通道板(MCP), 为覆盖更宽的波长范围, 可以移动MCP 多次成相. 数据读出采用通过光纤锥连接的CCD 或PDA 阵列. 微通道板(MCP) 装置可以扫描从最低约 2nm (MCP 的极限) 到最高大约 250nm ( 在MCP 中心), 超过250nm CsI 光阴极不再响应
技术参数
o= 标准或者可选项，单道多道指的是探测器
- 可工作于扫描或阵列模式(可互换)
- 光栅选择范围广
- 入射角度可变
- 精确的罗兰圆,精度达±4 um
- 高精度连续可调狭缝
- 狭缝带隔离伐
- 滑入式滤光片选件
- 结构坚固, 设计简洁,可在任意方向安装使用
该设备配备单个光栅提供覆盖1 至 310nm 光谱范围；采用非真空紫外发射线设备的校准及调准可以在大气压下完成。符合运动学原理安装的光栅保证了在调准后的用于试验的光栅可以复位。
光栅室材质为不锈钢，配备了一个标准的4.5 英寸conflat™全金属密封的泵接口（a standard 4.5” conflat™all metal sealed pump port）。该光栅室提供了符合运动学光栅固定架、真空中可调焦距式测微计、滤光片及孔径片、入射狭缝及出射折迭暗箱固定架。
248/310G 型可以用于单通道扫描, 多通道光度计( 使用多道平面增强器或CCD), 或者倒过来使用作为Extreme UV and Soft X-ray 的多种单色光源. 不管哪种方式, 都带o-ring 密封的真空系统或全金属密封的超高真空系统.
当248/310G 用作扫描单色器时, 可以得到*佳分辨率和*宽的波长覆盖范围. 出口狭缝通过密封焊接的波纹管装置连接到光栅室, 可以在光栅中心50mm 范围内扫描. 采用88 度入射角, 扫描精度可以达到0.98nm。
使用 789A-3 型扫描系统 (36,000 steps /rev.) 步进距离为0.0004". 取决于光栅刻线密度和入射角度, 这一距离同波长直接关联. 双边可调入射狭缝 (5-3000 um) 固定在光栅室上. 罗兰圆上移动的狭缝可由精确的千分尺调节. 狭缝装置上带有安装真空计, 进气阀, 粗抽阀的接口. 波长小于30nm 时为提高性能, 应使用金属过滤薄片以滤出散射和低能光. 用于*高能量/ *短波长时, 应使用VYNS 型滤光片。
左边照片为McPherson 248/310G 使用无窗背后照明无镀膜CCD 探测器, 可以直接测量 soft x-ray 和 EUV 光谱. CCD 垂直于出射光束. CCD 中心是最好的焦点. CCD 可以在Rowland circle 上扫描使得任意波长时光束都打在探测器的中心.
左图为采集soft x-ray and extreme UV 谱段的数据, 可以在Rowland circle 上使用微通道板 (microchannel plate). 通过这种方式, 可以同时采集 40mm 宽的谱线数据. 光阴极材料和微通道板(MCP) 需要真空环境, 不能在空气中调节. 微通道板(MCP) 固定装置允许用户在真空中调节聚焦, 转动, 角度, 等等, 从而得到最优的谱线. 通常我们选用40 mm 宽的微通道板(MCP), 为覆盖更宽的波长范围, 可以移动MCP 多次成相. 数据读出采用通过光纤锥连接的CCD 或PDA 阵列. 微通道板(MCP) 装置可以扫描从最低约 2nm (MCP 的极限) 到最高大约 250nm ( 在MCP 中心), 超过250nm CsI 光阴极不再响应
技术参数
o= 标准或者可选项，单道多道指的是探测器
|
型号 |
波段 (nm) |
光谱分辨率 (nm) |
焦长 (mm) |
单道 |
多道 |
成像 |
真空 |
高真空 |
光学设计 |
|
248/310G |
<1-310 |
0.018 |
1,000 |
o |
o |
|
o |
o |
掠入射罗兰圆结构 |
|
251 |
10-170 |
0.05 |
292 |
|
o |
o |
o |
o |
VLS 平场超环面 |
|
251MX |
1-20 |
0.02 |
5,649 |
|
o |
|
o |
o |
VLS 平场光栅 |
|
XCT |
8-120 |
0.1 |
2,000 |
o |
o |
o |
o |
o |
掠入射 C-T 结构，8° AOI |
|
OP-XCT |
8-120 |
0.08 |
800 |
o |
o |
o |
o |
o |
掠入射 C-T 结构，5° AOI |
13810233784
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