准分子激光器ATLEX-FBG

简  述:
ATLEX-FBG 系列专为FBG 刻写设计,具备较好的空间相干性指标。ATLEX-FBG 共300、500 两个型号。
品  牌:
德国 ATL Lasertech
产品型号:
  • ATLEX-FBG
德国ATL Lasertech 公司专业生产小型化、高重频、短脉冲准分子激光器。
主要应用于:
• 眼科手术
• 玻璃及塑料微加工
• 微制造
• 激光剥蚀
• TOF 质谱
• FBG 刻写
ATL 提供ATLEX、专用于FBG 刻写的ATLEX-FBG 系列,低负荷的ATLEX-LR 系列,以及非常紧凑的ATLEX-S 系列。
产品采用一系列独到的设计以满足工业级应用需求:
• 软电晕预电离
• 全固态高压脉冲发生器
• 激光头容积 < 3L
• 全金属- 陶瓷管路
• 集成真空泵及卤素过滤器
• 全风冷,主动热管理
• RS485,RS232,USB 以及光纤接口
• 可冲洗光具座
• 能量稳定模式
ATLEX-FBG 系列准分子激光器
ATLEX-FBG 系列专为FBG 刻写设计,具备较好的空间相干性指标。ATLEX-FBG 共300、500 两个型号。

增益介质

ArF

KrF

波长 (nm)

193

248

高压开关技术

固态开关

最高脉冲能量 (mJ)

10

15

空间相干性 ( 光斑竖直方向 )( m)

>300

最高平均功率 (W)

ATLEX-300-I

2.4

4.0

ATLEX-500-I

4.0

6.5

最高重频 (Hz)

ATLEX-300-I

300

ATLEX-500-I

500

脉冲宽度 (ns)

5 - 8

光束尺寸 (mm)

4×6

光束发散角 (mrad)

1×2

能量稳定性 (rms)

3%

外形尺寸 (mm, L×W×H)

540×470×300

 

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