Moxtek紫外线栅偏振片应用概述
Moxtek专为240nm到400nm紫外波段应用设计紫外偏振片,采用特有的纳米线栅技术,性能优异,具有大入射角,宽波长范围,耐热性高,高透过率,高消光比等特点。
产品型号和规格
技术数据:透过率以及消光比
紫外偏振片主要应用
半导体设备应用:DUV步进器和DUV扫描仪是半导体生产过程中的核心和关键单元。使用波长为248 nm和193 nm的单色紫外线辐射,将结构从光掩模板转移到衬底上。在光刻材料的曝光中增加偏振光可将分辨率提高20%。
紫外偏振片也广泛用在无图形晶圆光学检测设备上,实现高精度的缺陷检测。
紫外线固化偏振紫外线用于固化高端印刷行业中使用的紫外线敏感油墨,使用偏振光可以实现更快的生产速度和更大的产能,从而提高机器和工厂的利用率。
光对准 Photo Alignment
使用240至300nm范围内的线性偏振紫外线,可以实现LC显示器行业的精确对准,以生成各向异性对准膜。传统的摩擦聚酰亚胺会产生灰尘、静电和机械损伤。在不用大面积变动的情况下,UV偏振光允许极快生成均匀和稳定的偏置倾斜角。
光谱仪
Moxtek UVD260和UVD240偏振片可用于光谱仪,与Glan-Taylor棱镜相比,其小尺寸、宽接受角、均匀性和宽波长带宽特点具备明显的优势,另外相比传统的Glan-Taylor棱镜,UVD系列偏振片还具有更高的对比度和透过率,同时支持更大的AOI,需要更少的空间,没有光学像差,厚度仅为2mm左右。