可对应各种选配，膜厚的特制解析
椭圆偏振光测量仪FE5000应用范围
功能进一步展开的光谱椭圆偏振光测量仪FE5000
椭圆偏振光测量仪FE5000应用范围
- FPD LCD,PDP,FED,有机El
- 半导体 a-Si，poly-Si，其他
- 复合半导体 半导体激光，强电介质
- 数据储存 DVD,HDD,磁气头
- 光学材料 膜，防放射膜
- 膜 AR膜
FE-5000S
FE-5000的基础上追加了FE-5000S系列。FE-5000S虽然和FE-5000有相同的基本功能，但是价格低，省空间。光谱椭偏仪的用途也得到扩大。
FE-5000的基础上追加了FE-5000S系列。FE-5000S虽然和FE-5000有相同的基本功能，但是价格低，省空间。光谱椭偏仪的用途也得到扩大。
功能进一步展开的光谱椭圆偏振光测量仪FE5000
高速高精度
纳米级的薄膜膜厚测量
- 非接触非破坏实现多层膜的解析
材料表面光学常数（n.k）的测量
- 可求得膜厚以及光学定数的波长分散
- 提供膜厚管理膜质管理有用的信息
通过400ch以上的多通道光谱法，迅速测量椭圆光谱
- 可实现一分钟以内的高速测量
- 光谱点多，所以坡度大的椭圆光谱也可正确测量
利用多波长光谱仪实现高精度高感度测量
测量反射角度可变，对应薄膜的高精度解析
可对应特制解析的材料物性和多层膜等的高度评价
13810233784
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