准分子激光器ATLEX-L
简 述：
新一代中小型风冷准分子激光器 ATLEX-L 系列，产品采用一系列独到的设计以满足工业级应用需求
品 牌：
产品型号：
- ATLEX-500-L
- ATLEX-1000-L
ATL公司以小型化、风冷、高重复频率准分子激光器著称。
产品采用一系列独到的设计以满足工业级应用需求：
• 软电晕预电离
• 全固态高压脉冲发生器
• 激光头容积 ：6L
• 全金属- 陶瓷管路
• 集成真空泵及卤素过滤器
• 全风冷，主动热管理
• RS485，RS232，USB 以及光纤接口
• 易于清洁维护的紫外镜片与光具座
• 能量稳定模式
主要应用：
- 激光微加工
- 激光剥蚀
- 眼科手术
- 光谱激发
- 量测与计量
准分子激光器ATLEX-L 性能指标：
|
准分子气体 |
F₂ |
ArF |
KrF |
单位 |
|---|---|---|---|---|
|
波长 |
157 |
193 |
248 |
nm |
|
高压开关技术 |
固态开关 |
|
||
|
最大脉冲能量 |
1 |
8 |
15 |
mJ |
|
稳态脉冲能量 |
0.5 |
4 |
8 |
mJ |
|
稳态平均功率 - ATLEX-500-L |
0.25 |
2 |
4 |
W |
|
稳态平均功率 - ATLEX-1000-L |
0.5 |
4 |
8 |
W |
|
最高重复频率 - ATLEX-500-L |
500 |
Hz |
||
|
最高重复频率 - ATLEX-1000-L |
1000 |
Hz |
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|
脉冲宽度 |
5 - 8 |
ns |
||
|
光斑尺寸 (V x H) |
6 x 4 |
mm |
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|
激光发散角 (V x H) |
2 x 1 |
mrad |
||
|
能量稳定性 (Stand. Dev.) |
< 3 |
% |
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|
激光器尺寸 (L x W x H) |
600 x 415 x 572 |
mm |
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|
激光器重量寸 |
80 |
kg |
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|
冷却形式 |
风冷/水冷 |
|
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电源需求 |
230 VAC / 10 A / 50-60 Hz / 单向电 |
|
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13810233784
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