深紫外单纵模固体激光器Ixion193
简 述:
Ixion193为全固化单频激光器,其线宽达到变换极限,可用于光学计量、193nm 步进光学系统校准、高功率准分子激光器种子等。
品 牌:
德国 Xiton Photonics
产品型号:
- Ixion193
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IXION 193 为全固化单频激光器,其线宽达到变换极限,可用于光学计量、193nm 步进光学系统校准、高功率准分子激光器种子等。
典型应用:
• 光谱仪校准;
• 光刻;
• 干涉仪;
• 193nm 计量测量
• 准分子激光器种子源
IXION 193 为全固化单频激光器,其线宽达到变换极限,可用于光学计量、193nm 步进光学系统校准、高功率准分子激光器种子等。
典型应用:
• 光谱仪校准;
• 光刻;
• 干涉仪;
• 193nm 计量测量
• 准分子激光器种子源
深紫外单纵模固体激光器Ixion193典型参数
型 号 | IXION-193 SLM |
波 长 | 193.368 nm |
平均功率 | 10 mW |
脉 宽 | 8-12 ns |
脉冲能量 | 1.6µJ |
重复频率 | 1-15 kHz |
M2 因子 | < 1.6 |
线 宽 | <80MHz/0.01pm/0.0027cm-1 |
调谐范围 | >80GHz/10pm/2.6cm-1 |
相干长度 | >2m |
脉冲宽度
光谱带宽
长时间功率稳定性
光束质量
光谱带宽
长时间功率稳定性
光束质量