硅晶圆检测仪SIT-200
简 述：
SIT-200 硅晶圆检测仪是Alnair Labs 公司采用高速扫频激光器，利用干涉计量的方法设计制造的用于硅晶圆厚度检测的干涉仪。与常规测厚采用宽带光源不同，可调谐激光器具备很高的功率谱密度，从而提高了测量的动态范围，因此，SIT-200 支持非抛光的晶圆测量，例如在湿刻过程中以及湿刻之后的晶圆。
品 牌：
日本 Alnair Labs
产品型号：
- SIT-200
SIT-200 硅晶圆检测仪是Alnair Labs 公司采用高速扫频激光器，利用干涉计量的方法设计制造的用于硅晶圆厚度检测的干涉仪。与常规测厚采用宽带光源不同，可调谐激光器具备很高的功率谱密度，从而提高了测量的动态范围，因此，SIT-200 支持非抛光的晶圆测量，例如在湿刻过程中以及湿刻之后的晶圆。
• 全光学，非接触式晶圆厚度传感
• 高动态范围，可测量不规则表面
• 支持湿刻制程中实时测量
• 高灵敏度、高准确度、高速度
• 远程控制
测量原理
技术指标
技术指标
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可测样品 |
硅晶圆 |
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可测厚度范围 |
10 - 500 (n=3.5) |
m |
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精密可调谐激光 |
1515 - 1585 |
nm |
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光功率 |
0.6 |
mW |
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指引光 |
红色，Class 1M |
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测量时间 |
最短 20 |
ms |
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可重复性 |
<0.1 (3-σ) |
m |
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监控输出 |
干涉信号输出 |
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PC 界面 |
Ethernet |
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精密扫频激光光源以高速度调谐激光波长。样品前、后表面反射的激光的干涉信号经过PD 探测后，根据波长- 干涉信号强度的关系即可得到晶圆厚度。
13810233784
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