行业应用
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德国Xiton公司193nm稳频激光器与应用
德国Xiton公司的IXION-193 SLM深紫外全固态激光器在半导体制程领域广泛的应用于大功率准分子激光种子源，193nm晶圆检测，高分辨率光刻胶研发，深紫外光谱仪波长校准等应用。德国Xiton公司携手其全球明星代理公司先锋泰坦科技建立国内授权服务点，助力客户鹏程万里。 -
193nm ArF 准分子激光器光学元件损伤特性研究综述
193nm ArF 准分子激光器作为深紫外波段的重要光源 ，在集成电路光刻 、激光医学及精密材料加工等领域具有不可替代的应用价值 。然而 ，该波段激光光子能量高达 6.4 eV ，远超多数光学材料的吸收带隙，加之脉冲能量密度极高，光学元件的激光诱导损伤已成为制约系统性能与寿命的核心瓶颈。本文从损伤机理 、影响因素与提升策略三个层面 ，系统梳理 193nm 准分子激光器光学元件损伤特性的研究进展。分析表明 ，193nm 激光对光学薄膜 、窗口材料及反射镜的损伤受基底材料、镀膜工艺、环境气氛及脉冲参数等多因素耦合影响，氟化物材料体系因宽禁带特性而表现出相对优势 ，而保护层工艺与新型沉积方法可显著提升损伤阈值。本综述旨在为高功率 193nm 激光系统的光学元件选型与损伤防护设计提供参考 -
在高真空环境下做激光功率或能量的测试
随着半导体制程进入到13.5nm光源波段，激光功率或能量的检测均需要在超高真空环境下完成，另外还有一些特殊应用比如说高能物理粒子加速器，太空或仿太空环境检测时均需要考虑超高真空环境 -
266 nm连续波激光器：技术发展、应用现状与产品选型综述
266 nm连续波全固态深紫外激光器因其波长短、光子能量高、加工分辨率优良等特性，在半导体检测、高分辨光谱学、精密计量及基础科学研究等领域发挥着日益重要的作用。本文系统综述了266 nm连续波激光器的主要技术路线、核心非线性光学晶体材料的发展以及频率锁定技术的研究进展，重点分析了当前实现高功率、窄线宽输出的关键技术瓶颈与解决方案。 -
ATL准分子激光器在激光剥蚀与质谱分析中的应用
德国ATL Lasertechnik GmbH拥有超过二十年小型化准分子激光器研发经验，产品线以ATLEX-I系列为核心，涵盖ATLEX-LR、ATLEX-FBG系列，支持157 nm至351 nm波段输出。ATLEX-I系列具有全固态开关、全金属-陶瓷管路和5–8 ns短脉冲等特征。本文重点介绍其在LA-ICP-MS取样、MALDI MS成像、单颗粒气溶胶TOF-MS、APLI等质谱领域的应用 -
精密测量：双光梳干涉仪测量中的相位相关压缩
美国University of Colorado Boulder团队与加拿大Université Laval团队一起在《PRL》发表重磅成果。此次研究团队引入了双光梳干涉仪（DCI）作为量子计量学的有效工具，并利用该技术表征了两个独立光梳的脉冲压缩的相位依赖性。通过精准调控两光梳的相对相位，在干涉图交替过零点观测到显著的量子噪声压缩，最大值达到3.8±0.2 dB。基于此，研究团队实现了任意扫描量子光梳和相干态光梳之间的相对相位。用双光梳扫描代替压电换能或电光调制产生的微分光程变化，可以实现具有长任意相位延迟的高速时间可编程量子测量。先锋科技代理的瑞士Menhir激光器可以作为该实验的完美光源。
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