特长 Features
测量项目 Measurement item
构成图
半导体膜厚测试仪OPTM 式样Specifications
※ 上述式样是带有自动XY平台。
· 膜厚测量中必要的功能集中于头部
· 通过显微分光高精度测量绝对反射率（多层膜厚、光学常数）
· 1点只需不到1秒的高速tact
· 实现了显微下广测量波长范围的光学系（紫外～近红外）
· 通过区域传感器控制的安全构造
· 搭载可私人定制测量顺序的强大功能
· 即便是没有经验的人也可轻松解析光学常数
· 各种私人定制对应（固定平台，有嵌入式测试头式样）
测量项目 Measurement item
· 绝对反射率测量
· 膜厚解析
· 光学常数解析（n：折射率、ｋ：消光系数）
构成图
※ release 时期 是OP-A1在2016年6月末、OP-A2、OP-A3预定2016年9月。
＊ 膜厚范围是SiO2换算。
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