先锋泰坦携手德国Crylas 提供单频连续266nm 200mW高功率全固态激光器全国演示活动
CryLaS GmbH(Crystal Laser Systems)总部位于德国柏林,是半导体泵浦全固态激光器领域的专业制造商。 专注于开发基于微片激光技术的全固态纳秒脉冲激光器和连续波激光器,波长范围涵盖213/266/355/532/1064nm。
CryLaS的明星产品266 nm连续波激光器产品(FQCW266系列)凭借多项专利技术(专利号:DE10339210B4、US7027209B2等),在性能上具有以下显著优势:
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单纵模、窄线宽:线宽<300 kHz,相干长度>1000米,远超同类产品水平
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全密封设计:无需现场调整内部光学元件,实现真正的“即插即用”
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高光束质量:TEM₀₀模,M²<1.3,接近衍射极限
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低噪声:强度噪声<1% RMS,功率稳定性<2% @ 8小时
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传导冷却:无需水冷,降低系统复杂度
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工业级可靠性:支持24/7连续工业运行
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长使用寿命:266nm深紫外四倍频晶体具备电动移点机构,使得整机可达万小时工作寿命;
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多种功率型号:266nm深紫外稳频激光器提供10mW到1200mW多种功率型号
典型应用:
- 半导体晶圆无图型缺陷检测/掩模检测
- 紫外光刻、FBG布拉格光纤光栅写入
- 宽禁带半导体材料PL光谱激发
- 深紫外拉曼光谱激发
- 深紫外全息,干涉计量
先锋泰坦公司做为CrylaS公司全球明星代理商,备有FQCW266-200型200mW@266nm深紫外稳频连续波半导体激光器可供现场演示,乃至客户现场试用。本型号可适合以上所有典型应用的演示或验证需要。

激光参数:
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型号 |
FWCW266-200 |
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光学参数 |
波长 |
266±0.2 nm |
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标称平均功率输出 |
200± 5 mW |
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平均功率可调范围 |
20 mW to 220 mW |
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激光线宽 |
<300 kHz |
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相干长度 |
>1000 m |
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M² 因子 |
<1.3,TEMoo |
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偏振度 |
Vertical,>100:1 |
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光束直径 |
0.6±0.1 mm |
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发散角 |
<0.8 mrad |
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静态对准公差 |
Lateral±0.25 mm|Angular±2.5 mrad |
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点对点光束指向偏差 |
±360 μrad |
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光束指向稳定性 |
<3 μrad/K|<3 μrad/h |
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功率稳定性(预热后8小时内每秒采样2次) |
<0.3%rms |
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电子参数 |
能耗 标准(最大) |
<100 W(160 W) |
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电源需求 |
85-264 VAC(47-63 Hz) |
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计算机接口 |
USB|RS232 |
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激光防护 |
Key Switch |Interlock |
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其他 |
预热时间 标准(最大) |
15 min(30 min) |
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工作温度 (激光头) |
20-35℃ 非结露 |
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激光头尺寸 |
91×270×379 mm³(HxW×L) |
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激光电源尺寸 |
42×165×164 mm³(H×W×L) |
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激光头重量 |
14.7 kg |
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激光电源重量 |
1.0kg |
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FWCW266产品系列 |
平均功率 |
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FQCW266-1200 |
1200mW |
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FQCW266-600 |
600mW |
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FQCW266-300 |
300mW |
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FQCW266-200 本次参展 |
200mW |
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FQCW266-100 |
100mW |
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FQCW266-50 |
50mW |
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FQCW266-25 |
25mW |
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FQCW266-10 |
10mW |
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产品共性:线宽<300kHz, 相干长度>1000m; M² 因子<1.3; TEMoo |
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本次选用FQCW266-200中等功率型号用于巡回演示既可满功率输出用于验证晶圆检测,紫外光刻全息与计量;也可利用标配的10%-100%功率调节功能演示PL光谱激发,紫外拉曼 |
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